膜厚加工沉积是海洋机械、集成电路等产业产品制造中的重要环节,膜厚量值大小直接影响产品的质量、功能、可靠性及寿命。因此,膜厚量值的准确测量和溯源成了保证产品质量和相关产业高质量发展的关键。为确保膜厚量值测量的准确统一,近期,中国计量科学研究院作为主导实验室开展了金属膜厚测量全国比对,以满足国内海洋装备、集成电路、新能源等领域的金属膜厚溯源比对需求,同时可促进提升相关计量检测机构的测量能力和技术水平。 厦门市计量检定测试院长度计量科(福建省海洋高端装备产业计量测试中心)参加了此次金属膜厚全国计量比对,FP 法比对结果En值小于0.6,EC 法小于0.2,比对结果满意。 撰稿人:郑伟峰、谢汉斌 |